Physical and chemical properties affected by temperature in copper films chemical mechanical polishing

- Tên bài báo: "Physical and chemical properties affected by temperature in copper films chemical mechanical polishing"

- Tác giả: Vi Trung Kiên và đồng tác giả

- Tạp chí/ Hội thảo: 25^th of the Chinese Mechanical Engineering Society National Symposium

- Lĩnh vực: Cơ điện

- Toàn văn: Download